招标公告半导体
荷兰 – 微电子机械、设备和微系统 – 计量SEM+FIB系统
- 发布方：
- Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- 地区：
- 荷兰 · Den Haag
- 发布：
- 2026-07-27
- 截止：
- 2026-09-06
- 联系方式
公告正文
[TED 519634-2026] Netherlands – Microelectronic machinery and apparatus and microsystems – Metrology SEM+FIB system Buyer: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO CPV: 31712000, 38900000, 31712000, 38900000 Estimated value: 1300000.0 EUR The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van één SEM +FIB systeem